超纯去离子水系统                                    型号：苏州创联净化CL-0.25T/H型                  主要指标：产水量Q≥0.25 m³/H；出水电阻率≥18.2 MΩ.C

化学合成与工艺辅助设备包括通风柜、分析天平、化学合成装置、鼓风干燥箱、冷冻干燥机、真空干燥箱、离心机、压片机、管式炉、马弗炉、超声细胞粉碎机、超声装置等

型号:日本电子JSM-IT100型SEM+图形发生器​; 主要指标:极限线宽:拼接场内图形套刻与拼接精度:100nm;<20nm

型号:英国牛津PlasmaPro80型​;主要指标:样品8英寸;刻蚀气体CF4、SF6、CHF3、Ar、02

型号:瑞典M2;​主要指标:光盘匀胶、紫外固化和AI反射层溅镀一体机

型号:定制；​主要指标:激光波长658nm和405nm，曝光特征尺寸>200nm

型号:苏州威格SG1500/750TS-H型​；主要指标:泄露率<0.0003vol/h;H2O含量<0.5 ppm,7%O2含量<0.5pp。

型号:中科院光电所URE-2000/35型​；主要指标:曝光分辨率:0.8-1μm;对准精度:±0.8μ。